簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Thin film".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="反應式雙離子共濺鍍法"


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    以反應式雙離子共濺鍍法沉積氧化鋅鎂薄膜及其特性分析
    • 電子工程系 /99/ 碩士
    • 研究生: 張慈讌 指導教授: 趙良君
    • 本實驗使用反應式離子束共濺鍍Zn及Mg金屬靶沉積MgxZn1-xO薄膜,利用不同離子束電流調整x = 0 ~ 0.46,薄膜沉積於Si (100)、玻璃及石英基板。XRD量測結果中,MgxZn1-x…
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    • 全文公開日期 2013/06/24 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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